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期刊


ISSN0947-076X
刊名Vakuum in Forschung und Praxis
参考译名真空研究与实践
收藏年代1998~2025



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2011, vol.23, no.5 2011, vol.23, no.6

题名作者出版年年卷期
Aktuelle Entwicklungen in der Zuchtungstechnologie von CZ-Si-Kristallen: Grossere und perfektere Si-Kristalle als Herausforderung an die Prozess- und Anlagen-TechnologieBurkhard Altekruger; Gert Fisahn20112011, vol.23, no.2
Ruckseitenmetallisierung Wafer-basierter Si-Solarzellen mittels EB-PVD: Ein neues Anwendungsfeld fur PVD-TechnologienEkkehart Reinhold; Jorg Faber; Falk Otto20112011, vol.23, no.2
Charakterisierung von Schichten und Platten: Zerstorungsfreie und beruhrungslose Prufung mit Hilfe von MikrowellenChristoph Sklarczyk20112011, vol.23, no.2
PECVD mit der Bandhohlkathode: Potenzial fur Hochrate-Beschichtung von StahlbandKrasimir Nikolov; Bernd Schuhmacher; Thomas Jung; Claus-Peter Klages20112011, vol.23, no.2
Transparente Elektroden auf Kunststoff folien: Technologien und AnwendungenMatthias Fahland20112011, vol.23, no.2
Untersuchung von Grenzflachen in Chalkopyrit-Dunnschichtsolarzellen: Synchrotronstrahlung zur Analyse von GrenzflachenreaktionenIver Lauermann20112011, vol.23, no.2



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