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期刊
ISSN
0946-7076
刊名
Microsystem technologies
参考译名
微系统技术:传感器,致动器与系统集成
收藏年代
1998~2024
关联期刊
参考译名
收藏年代
Journal of Information Storage and Processing Systems
存储与处理系统信息杂志
2000~2001
全部
1998
1999
2000
2001
2002
2003
2004
2005
2006
2007
2008
2009
2010
2011
2012
2013
2014
2015
2016
2017
2018
2019
2020
2021
2022
2023
2024
2001, vol.7, no.1
2001, vol.7, no.2
2001, vol.7, no.3
2001, vol.7, no.4
2001, vol.7, no.5-6
题名
作者
出版年
年卷期
Microfabrication of ceramic microreactors
R. Knitter; D. Gohring; P. Risthaus; J. Hausselt
2001
2001, vol.7, no.3
Evaluation of microfracture toughness and microcracking with notch tip radius of Si film structure for microactuator in hard disk drives
S. -H. Lee; J. S. Kim; J. W. Evans; D. Son; Y. E. Pak; J. U. Jeon; D. Kwon
2001
2001, vol.7, no.3
Injection molding of components for microsystems
V. Piotter; W. Bauer; T. Benzler; A. Emde
2001
2001, vol.7, no.3
A new process to fabricate the electromagnetic stepping micromotor using LIGA process and surface sacrificial layer technology
F. Yi; L. Peng; J. Zhang; Y. Han
2001
2001, vol.7, no.3
Modeling of grating/moire based micro motion sensor
B. Zhao; J. M. Miao; H. Xie; A. Asundi
2001
2001, vol.7, no.3
Active material micro-actuator arrays fabricated with SU-8 resin
B. J. Pokines; J. Tani; M. Esashi; T. Hamano; K. Mizuno; D. J. Inman
2001
2001, vol.7, no.3
Backpropagation approximation approach based generation of macromodels for static and dynamic simulations
F. E. H. Tay; A. Ongkodjojo; Y. C. Liang
2001
2001, vol.7, no.3
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